真空氣淬的冷速與氣體的種類、氣體壓力、流速、爐子結構及裝爐狀況有關。可供使用的氣體有氬、氦、氫、氮。與相同條件下的空氣傳熱速度相比，設空氣為1，則氮為0.99，氬為0.70，氫為7，氦為6。熱處理用氣體技術條件見下表。

在任何壓強下，氫都具有最大的熱傳導能力和最大的冷卻速度，氫可以應用于裝有石墨元件的真空爐，但對含碳量較高的鋼種，在冷卻過程的高溫階段（1050℃以上）有可能造成輕微脫碳，對高強度鋼有造成氫脆的危險，因此，真空高壓氣淬人們不會選用氫作為冷卻介質。

冷卻速度僅次于氫的是惰性氣體氦。在空氣中He僅含0.0005%（體積分數(shù)），一般在天然氣液化過程中制取He比N得價格可高至上百倍，只有在某些特殊場合下才選用氦氣作為真空氣淬介質。

氬的冷卻能力比空氣低，它在大氣中的體積分數(shù)為0.93%，用壓縮空氣使之液化，精餾而來的氬成本較高，所以它也不是理想的高壓氣淬介質。

氮的資源豐富，成本低，在略低于大氣壓下進行強制循環(huán)，冷卻強度可上升20倍。它是使用安全、冶金損害小的中性氣體。在200～1200℃溫度范圍內，對常用鋅合金壓鑄模具鋼氮呈惰性狀態(tài)，所以氮是鋅合金壓鑄模具高壓氣淬較理想的淬火介質。

氮中含氧（如體積分數(shù)達0.001%以上）可使高溫下的鋼產生輕微的氧化、脫碳，因而，一般常規(guī)使用的高純氮的純度為99.999%（相對露點-62℃，相應于真空度1.33Pa）。鑒于高純氮價格昂貴，有時在無特殊要求的情況下，可選用一般氮氣。實踐證明，這對一般的鋅合金壓鑄表面狀態(tài)無明顯損害，工業(yè)上用普通氮氣的純度為99.9%。氧氣站提供的氮氣含氧量高達1.5%（體積分數(shù)）和較多的水，因此必須經過凈化后方可使用。

在高壓氣淬時，為了使淬得高硬度，往往會提高冷卻氣體的壓力。淬火冷卻速度隨氣壓上升明顯提高，但并非氣壓越高越好，對于尺寸較大，比表面小的鋅合金壓鑄，在更高的氣壓下，決定冷卻速度的主導因素是鋼的內部熱傳導。因為這是對流傳熱加速冷卻的效果難以達到中心。此時提高氣壓對增大冷卻速度的作用不十分明顯。又考慮到一般的真空爐只在低于大氣壓時密封效果較好以及為了節(jié)約高純氣體，故真空氣淬時的常用壓力為0.5×105～0.8×105Pa，最高取0.92×105～0.99×105Pa，有試驗表明，對由M2鋼制成的φ25mm×40mm試樣，裝爐量100kg，施以下處理工藝：850℃×25min+1050℃×15min兩次預熱，1220℃×4min加熱，氣淬冷至550～500℃出爐續(xù)冷。當淬火氣體壓力為1×105Pa時，冷卻需185s，2×105Pa時為110s，5×105Pa時為55s。即隨著氣體壓力的升高，冷速加大，冷卻時間減少。560℃×1h×2次回火后硬度由750HV提高至880HV（65HRC）以上。

此外，加壓氣淬還擴大了鋅合金壓鑄模具鋼氣淬的材料品種和尺寸范圍，但氣壓又不能太高，由于動力和氣體消耗成比例的增長，設備需有嚴格的防護措施等。

提高氣體的流速可以提高其冷卻速度，例如，當氣體流速從10.2m/s提高到50.8m/s時（一般情況下步大于25m/s），氮、氫、氦的對流傳導系數(shù)將提高3倍。

為了提高氣體冷卻能力，確保工具淬火質量，應采取合適的裝爐量，一般只裝額定值得60%～70%，工件在爐中保持上下、左右、前后適當?shù)拈g隔，均勻有序的擺放工件，也可以進一步改善冷卻時的熱交換條件。真空淬火質量是好，但裝爐量有限，是制約真空爐在刀具業(yè)快速發(fā)展的因素之一。

關于真空淬火工件的變形問題，與常規(guī)熱處理相似，引起真空淬火變形的原因是組織應力、熱應力及火前工序留下的殘余應力。在加熱、冷卻過程中，當工件處于塑性高的狀態(tài)時，工件的自重、相互擠壓、振動等也將導致變形并使淬火變形復雜化。實踐考證，真空淬火工件的變形平均小于常規(guī)工藝，只有鹽浴加熱淬火的1/10～1/2。